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半導(dǎo)體主要成分：半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。半導(dǎo)有機類有：非甲烷總烴、體酸氮氧化物、堿廢二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、氣凈硫酸霧、化工氟化物、藝方氯化物、半導(dǎo)氯氣等。體酸

半導(dǎo)體酸堿性廢氣：

工藝流程： 酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風(fēng)機→煙囪（達標(biāo)排放）

半導(dǎo)體有機類廢氣VOCs

收集廢氣→沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置→TO直燃式焚燒爐

同時整套裝置安q、堿廢可靠、氣凈無任何二次污染?；?/p>

由于半導(dǎo)體行業(yè)對操作室清潔度要求，藝方通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的半導(dǎo)各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、體酸排放濃度小的堿廢特點。

半導(dǎo)體酸堿廢氣凈化工藝方法