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納米氧化硅拋光液對 LED 藍(lán)寶石襯底具有優(yōu)異的拋光性能，拋光后的納米表面無劃傷、無腐蝕坑，氧化且粗糙度小于 0. 2 nm。硅拋光液

納米氧化硅拋光液用于 LED 藍(lán)寶石襯底表面拋光，拋光速率可以達(dá)到5 μm/h左右，納米粗糙度可以達(dá)到 0. 2 nm 以下，氧化且表面幾乎無微觀缺陷。硅拋光液

技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目

指標(biāo)

型號

VK-SQ50W

VK-SQ80W

外觀

白色乳液

白色乳液

粒徑 nm

50

80

含量 %

30

30

pH

9-11

9-11

拋光特點(diǎn)：應(yīng)用領(lǐng)域廣、拋光效率高，納米 可用于硅片、氧化化合物晶體、硅拋光液精密光學(xué)器件、球形寶石、納米金屬等的氧化拋光加工。

包裝：5kg/桶；25kg/桶