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低溫等離子體技術處理污染物的等離原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的凈化凈化大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、器玻解離和激發(fā)，璃廠然后便引發(fā)了一系列復雜的廢氣廢氣物理、化學反應，設備設備使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影?全物質，工業(yè)或使有毒有害物質轉變成無 毒無害或低毒低害的油煙物質，從而使污染物得以降解去除。處理因其電離后產(chǎn)生的等離電子平均能 量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的凈化凈化化學反應變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領域中的器玻一項具有 機強潛在優(yōu)勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的璃廠高度關注。

低溫等離子體技術在廢氣處理中的廢氣廢氣應用隨著工業(yè)經(jīng)濟的發(fā)展，石油、設備設備制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有 機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環(huán)境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生機大的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生 態(tài)環(huán)境的破壞，重大災難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處理方法勢在必行。

降解揮發(fā)性有 機污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限 制，具有潛在的優(yōu)勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此, 能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真 正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。