多功能pecvd系統(tǒng) DATE: 2024-11-25 02:53:46
價 格：面議
產(chǎn)品特點
1.該設(shè)備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，多功沉積速率快
3.設(shè)備輝光均勻等效，系統(tǒng)均勻生長，多功成膜質(zhì)量好
4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器
5.支持智能進氣，系統(tǒng)根據(jù)需要設(shè)定不同的多功溫度，自動進氣，系統(tǒng)進氣定時間到后自動停止進氣
6.支持云端數(shù)據(jù)存儲，多功隨時查看數(shù)據(jù)
7.支持爐膛移動速度調(diào)節(jié)
8.支持射頻電源根據(jù)外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定，系統(tǒng)壓力可以設(shè)定
10.支持超壓保護，多功大壓力值可以設(shè)定，系統(tǒng)超過后系統(tǒng)自動進入保護
多功