價(jià) 格：面議

1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，鍍膜鍍膜氬弧焊接，系列上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)

機(jī)械泵+分子泵（國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口可選），磁控 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h），濺射大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅(qū)動(dòng)擋板閥和手動(dòng)限流閥

蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極，鍍膜鍍膜蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源，系列配源間防污隔板可拆卸式，磁控尺寸60*60mm，濺射旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)，鍍膜鍍膜可加熱至300℃，系列可選水冷或是磁控帶角度調(diào)節(jié)功能的基片臺(tái)可選配進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，濺射具備漏氣自檢與提示、鍍膜鍍膜通訊故障，系列實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 機(jī)電一體化機(jī)架，磁控預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口