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為空氣的成豐100倍。六氟化硫的氬氣業(yè)保氬氣業(yè)保熔點(diǎn)為-50.8℃,可作為-45-0℃溫度范圍內(nèi)的電工特殊制冷劑,又因其耐熱性好,護(hù)氣護(hù)氣是高純一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。六氟化硫因上述及其它優(yōu)良特性,半導(dǎo)近年來被廣泛用于電力、體工電子、成豐電氣行業(yè)和激光、氬氣業(yè)保氬氣業(yè)保醫(yī)療、電工氣象、護(hù)氣護(hù)氣制冷、高純消防、半導(dǎo)化工、體工軍事、成豐宇航、有色冶金、物理研究等。
高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護(hù)氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對(duì)鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉,以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護(hù)氣。