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國(guó)內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的形態(tài)各異資源化利用和無(wú)害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多,主要可分為濕法、長(zhǎng)沙火法以及火濕法聯(lián)合三大類。銦絲濕法類主要的回收提取方式為鹽酸浸出,浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、形態(tài)各異鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦,長(zhǎng)沙該方法的銦絲缺點(diǎn)是銦錫分離率低,氧化錫渣等中含銦約1%~2%,回收銦直收率﹤97%。形態(tài)各異
在實(shí)際生產(chǎn)中,長(zhǎng)沙采用蒸餾法分離銦、銦絲錫時(shí),回收可考慮采用微負(fù)壓系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的形態(tài)各異升級(jí)改進(jìn)。通過(guò)改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等,長(zhǎng)沙以充分的銦絲降低能耗,并獲得更好的銦、錫分離效果,這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗(yàn)研究的主要方向。
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過(guò)一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)(1600度,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。
目前中國(guó)ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進(jìn)口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場(chǎng),僅占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)30%的份額;而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國(guó)進(jìn)口,占據(jù)了70%的市場(chǎng)份額。