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價 格:8000
Renishaw雷尼紹 RESOLUTE UHV(超高真空)非增量式光柵
RESOLUTE UHV為超高真空應用提供非增量式光柵技術,雷尼量式幫助客戶提高測量效率,非增降低損壞風險,光柵并增強 可靠性。雷尼量式
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的非增非增量式光柵技術,通過一個適合在低達10 -10 Torr的光柵超高真空條件下應用的讀數頭充分發(fā)揮其技術優(yōu)勢。新的雷尼量式RESOLUTE UHV光柵系列的構造有利于進行殘余氣體分析 (RGA)而不會污染真空環(huán)境,非常適合性能高、非增半導體和科研等應用領域。光柵
頂部測量效率顯著提高
RESOLUTE的雷尼量式性能優(yōu)于其他所有為UHV環(huán)境設計的非增量式光柵。RESOLUTE的非增分辨率達到32位(直線光柵達到1 nm),速度達到36 000轉/分(直線光柵達到100 m/s),光柵其超凡的雷尼量式技術指標是光柵技術的一大新突破!
但RESOLUTE帶來的不僅僅是高速度……先進的檢測技術還兼具內在的超低電子細分誤差 (SDE) 和極低噪音(抖動)特點。
頂部結果:
速度波動穩(wěn)定性提高10倍
位置穩(wěn)定性提高10倍
可重復性提高10倍
電機產生的非增熱量減少
頂部降低損壞風險
RESOLUTE是一款真正的非增量式光柵,意味著開啟之后立即確定位置。光柵
無需“開啟并晃動”
無需備用電池
立即實現對軸控制
快速電機換向
保持高負載
例如,這些特點意味著在斷電后仍可以確保機器人對晶片進行拾取操作。
頂部可靠性增強
RESOLUTE的中心技術消除了幾種與光柵反饋有關的很常見失效模式。每次讀數頭收到來自主控制器的請求時,RESOLUTE柵距圖像,以此確定絕dui位置。圖像包含高度冗余,而讀數頭應用復雜的交叉檢查和錯誤剔除,將定位精度保持在1 nm范圍內。這種技術意味著不會發(fā)生計數錯誤或者“丟數”情況。
此外,RESOLUTE采用獨有的內置位置校驗算法,在輸出之前主動校驗每個位置讀數,以便在任何潛在問題到達控制器之前就能及時提醒。同時它還可以監(jiān)測速度、信號狀態(tài)和溫度。
RESOLUTE使用純串行通信向控制器發(fā)送已校驗的位置信息。根據RESOLUTE使用的所有協(xié)議,應用CRC檢查,以便能夠檢測出傳輸過程中的數據損壞。
頂部直線光柵和圓光柵
RESOLUTE UHV提供一系列適合各種直線光柵和圓光柵應用的柵尺。
頂部直線光柵選項
名稱
材料
類型
精度
長度
RELA
ZeroMet
具有極低CTE的柵尺
±1 μm
1.13 m
RSLA
不銹鋼
柵尺
長度1 m時精度±1.5 μm
長度2 m時精度±2.25 μm
長度3 m時精度±3 μm
長度5 m時精度±4 μm
5 m
RTLA
不銹鋼
配合FASTRACK使用的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
RTLA-S
不銹鋼
帶自帶不干膠的鋼帶柵尺
±5 μm/m
10 m
頂部圓光柵選項:
RESA圓柵具有低轉動慣量和大通孔。尺寸從52 mm至550 mm。
REXA超高精度圓柵配用雙讀數頭使用時保證精度優(yōu)于±1角秒(在尺寸100 mm和更大的圓柵上)。尺寸從52 mm至550 mm。
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