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國(guó)內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的長(zhǎng)沙資源化利用和無(wú)害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多,主要可分為濕法、靶材火法以及火濕法聯(lián)合三大類?;厥?strong>濕法類主要的可上提取方式為鹽酸浸出,浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、長(zhǎng)沙鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦,靶材該方法的回收缺點(diǎn)是銦錫分離率低,氧化錫渣等中含銦約1%~2%,可上銦直收率﹤97%。長(zhǎng)沙
對(duì)ITO廢靶材中銦錫進(jìn)行資源化的靶材關(guān)鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產(chǎn)品和副產(chǎn)品的回收品質(zhì)等經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)。上述幾種主流的可上從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個(gè)共性的問(wèn)題,那就是長(zhǎng)沙銦錫的分離不夠徹底,銦的靶材回收率在97%~98%,進(jìn)一步提升銦收率的回收空間較小,產(chǎn)生的錫渣或粗錫中含銦較高,作為錫原料或產(chǎn)品出售時(shí)會(huì)造成銦的損失;所以,探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。
采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn),在油浴溫度132 ℃左右,蒸餾5 h左右,可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率;本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時(shí),還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過(guò)程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序,節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。
ITO靶材有中低端和高端之分:中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材,包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。高端ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材,尤其用于大面積、大規(guī)格的LED、OLED等領(lǐng)域,具備高密度、高純度、高均勻性等特點(diǎn)。
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