價 格：面議

1Cr18Ni9Ti優(yōu)質不銹鋼材質，鄭州蒸氬弧焊接，邦達上開蓋和前開門結構

機械泵+分子泵（國產(chǎn)或進口可選），電氣鍍膜電阻鍍膜 極限真空優(yōu)于8*10-5Pa（設備空載抽真空24h），設備大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規(guī)管讀取真空度；閥門采用電磁驅動擋板閥和手動限流閥

蒸發(fā)源采用3組水冷銅電極，儀桌儀蒸發(fā)電源采用2KW逆變式電源，面型配源間防污隔板

可拆卸式，鄭州蒸尺寸60*60mm，邦達旋轉：0-20r/min可調，電氣鍍膜電阻鍍膜可加熱至300℃，設備可選水冷或是儀桌儀帶角度調節(jié)功能的基片臺

可選配進口或國產(chǎn)膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚

PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，面型具備漏氣自檢與提示、鄭州蒸通訊故障，邦達實現(xiàn)一鍵抽停真空

L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，電氣鍍膜電阻鍍膜預留1個CF35法蘭接口