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等離子清洗機采用13.56MHz的等離射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，清洗主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、等離鍍膜工藝、清洗PCB制程、等離元器件封裝前、清洗COG前、等離真空電子、清洗連接器和繼電器等行業(yè)的等離精密清洗，塑料、清洗橡膠、等離金屬和陶瓷等表面的清洗活化以及生命科學(xué)實驗等。

?等離腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；?采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；?支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；?清洗智能自動模式：可以設(shè)置為2次清洗，2次進(jìn)氣,等離每次清洗時間,進(jìn)氣穩(wěn)定時間都可以設(shè)定；?手動模式：手動模式下，系統(tǒng)可以啟動定時功能，清洗時間到，系統(tǒng)自動停止工作；?氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；?智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量?流量計系統(tǒng)，可以設(shè)置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；?等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。